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德国PI位移平台将亚纳米分辨率和导向精度与小串扰相结合。这使其特别适合于计量学,超分辨率显微镜,干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描,在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。
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