德国PI应用扫描显微镜压电工作台

德国PI公司是精密运动和定位领域的*解决方案供应商。

   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔径为80 毫米 × 80 毫米

§ 行程达200 微米 × 200 微米

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 高动态直接驱动版本

§ 传感器技术：价格实惠的应变片传感器 或可实现更的电容式传感器

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 可与显微镜平台组合实现更长行程

应用领域

§ 扫描显微镜

§ 高吞吐量显微镜

§ 超分辨率显微镜

§ 掩模/晶圆定位

§ 干涉测量

§ 测量技术

§ 生物技术

§ 显微操纵

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来精度

运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现较好的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。

订购信息

P-541.2DD 带大孔径的XY向纳米定位系统，高动态直接驱动，45 微米 × 45微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器

P-541.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器

P-541.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，LEMO连接器

P-542.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器

P-542.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，并联运动，电容传感器，LEMO连接器

P-541.2SL 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，应变片传感器，LEMO连接器

P-542.2SL 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，应变片传感器，LEMO连接器

P-541.20L 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，不带传感器，LEMO连接器

P-542.20L 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，不带传感器，LEMO连接器 配件

P-542.PD1 用于P-54x纳米定位系统的培养皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x纳米定位系统的显微镜载片支架

产品型号

PI (Physik Instrumente)P-541.2DD 带大孔径的XY向纳米定位系统，高动态直接驱动，45 微米 × 45微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，并联运动，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，并联运动，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，并联运动，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.2SL 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，应变片传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.2SL 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，应变片传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-541.20L 带大孔径的XY向纳米定位系统，100 微米 × 100微米，不带传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-542.20L 带大孔径的XY向纳米定位系统，200 微米 × 200微米，不带传感器，LEMO连接器 配件 

PI (Physik Instrumente)P-542.PD1 用于P-54x纳米定位系统的培养皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x纳米定位系统的显微镜载片支架

PI (Physik Instrumente)P-611.2S XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，应变片传感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.20 XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZS XZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米，应变片传感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.XZ0 XZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米，不带传感器

PI (Physik Instrumente)P-612.20L XY 向纳米定位系统，130微米 × 130微米，孔径为20毫米 × 20毫米，开环 

PI (Physik Instrumente)P-612.2SL XY 向纳米定位系统，100微米 × 100微米，孔径为20毫米 × 20毫米，应变片传感器

PI (Physik Instrumente)P-620.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente)P-628.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-620.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，60微米 × 60微米，不带传感器，LEMO连接器 P-621.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，120微米 × 120微米，不带传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，300微米 × 300微米，不带传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，600微米 × 600微米，不带传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，1000微米 × 1000微米，不带传感器，LEMO连接器  

德国PI应用扫描显微镜压电工作台